Enhanced uniformity and durability of antisticlcing layer in imprinting stamps

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied surface science 2012, Vol.258 (17), p.6545-6549
Hauptverfasser:	MOON JAE LEE, SANG UK CHO, SANG MAE LEE, CHANG SEOK KIM, MYUNG YUNG JEONG
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Physics
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