Preparation of a-C:H/a-C:H:Si:O and a-C:H/a-C:H:Si multilayer coatings by PACVD: Special Issue on Carbon-Based Nanostructured Coatings and Composite Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Surface & coatings technology 2011, Vol.206 (4), p.623-629
Hauptverfasser: BEWILOGUA, Klaus, BIALUCH, Ingmar, RUSKE, Hartmut, WEIGEL, Kai
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0257-8972
1879-3347