Diamond-like carbon films deposited using a broad, uniform ion beam from an RF inductively coupled CH4-plasma source

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Diamond and related materials 1998, Vol.7 (7), p.965-972
Hauptverfasser:	DRUZ, B, OSTAN, E, DISTEFANO, S, HAYES, A, KANAROV, V, POLYAKOV, V, RUKOVISHNIKOV, A, ROSSUKANYI, N, KHOMICH, A
Format:	Artikel
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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