Thermal Stability and Dopant Segregation for Schottky Diodes With Ultrathin Epitaxial NiSi2-y

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE electron device letters 2011-08, Vol.32 (8), p.1029-1031
Hauptverfasser: JUN LUO, XINDONG GAO, QIU, Zhi-Jun, JUN LU, DONGPING WU, CHAO ZHAO, JUNFENG LI, DAPENG CHEN, HULTMAN, Lars, ZHANG, Shi-Li
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0741-3106
1558-0563
DOI:10.1109/LED.2011.2157301