Thin Teflon-like films for eliminating adhesion in released polysilicon microstructures: Technical Digest for Transducers '97

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Sensors and actuators. A. Physical. 1998, Vol.70 (1-2), p.159-163
Hauptverfasser:	SMITH, B. K, SNIEGOWSKI, J. J, LAVIGNE, G, BROWN, C
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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