Cathodoluminescence evidence of stress-induced outdiffusion of beryllium in AlGaAs/GaAs heterojunction bipolar transistors
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Veröffentlicht in: | Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 1998-11, Vol.31 (21), p.3004-3008 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0022-3727 1361-6463 |
DOI: | 10.1088/0022-3727/31/21/004 |