Microcomposants électromécaniques pour la réalisation de références de tension en courant alternatif

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Revue française de métrologie 2011 (25), p.16-29
Hauptverfasser:	BOUNOUH, Alexandre, BLARD, François, CAMON, Henri, BELIERES, Denis, ZIADE, François
Format:	Artikel
Sprache:	fre
Schlagworte:	Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (mems/nems) Electronique Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Generalites Instruments, appareillage, composants et techniques communs à plusieurs branches de la physique et de l'astronomie Méthodes et appareillages électroniques et électriques Physique Sciences appliquees Sciences exactes et technologie Systèmes et dispositifs micromécaniques Techniques, équipements et instruments mécaniques
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	1772-1792