MEMS microrelays: Microelectromechanical systems

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Mechatronics (Oxford) 1998, Vol.8 (5), p.535-547
Hauptverfasser:	WOOD, R, MAHADEVAN, R, DHULER, V, DUDLEY, B, COWEN, A, HILL, E, MARKUS, K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Connection and protection apparatus Electrical engineering. Electrical power engineering Exact sciences and technology
Online-Zugang:	Volltext
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