Enhanced room temperature mobilities and reduced parallel conduction in hydrogen passivated Si/SiGe heterostructures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Semiconductor science and technology 1998-11, Vol.13 (11), p.1317-1321
Hauptverfasser: Raghavan, M N V, Venkataraman, V
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0268-1242
1361-6641
DOI:10.1088/0268-1242/13/11/016