A 32 × 32 Element Row-Column Addressed Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer
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Veröffentlicht in: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control ferroelectrics, and frequency control, 2011, Vol.58 (6), p.1266-1271 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0885-3010 1525-8955 |