Fabrication of ordered silicon nanopillars and nanowires by self-assembly and metal-assisted etching : Porous Semiconductors - Science and Technology
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Veröffentlicht in: | Physica status solidi. A, Applications and materials science Applications and materials science, 2011, Vol.208 (6), p.1412-1416 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1862-6300 1862-6319 |