Fabrication of ordered silicon nanopillars and nanowires by self-assembly and metal-assisted etching : Porous Semiconductors - Science and Technology

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Veröffentlicht in:Physica status solidi. A, Applications and materials science Applications and materials science, 2011, Vol.208 (6), p.1412-1416
Hauptverfasser: BOARINO, Luca, IMBRAGUGLIO, Dario, ENRICO, Emanuele, DE LEO, Natascia, CELEGATO, Federica, TIBERTO, Paola, PUGNO, Nicola, AMATO, Giampiero
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1862-6300
1862-6319