Cathodo!uminescence study of off-stoichiometry and residual stresses in advanced dielectrics and related devices : Advances in Electronic Materials and Devices in the Far East

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Veröffentlicht in:Physica status solidi. A, Applications and materials science Applications and materials science, 2011, Vol.208 (5), p.1119-1126
Hauptverfasser: LETO, Andrea, PEZZOTTI, Giuseppe
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1862-6300
1862-6319