Computer microvision for microelectromechanical systems

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	RLE progress report 1997 (140), p.341-347
Hauptverfasser:	FREEMAN, D. M, TROXEL, D. E, PEDERSEN, E. J, REICH, B. D, HONG, S. S, HUANG, R. Y, BALZER, J. L, DOUGHTY, F. M, MCILRATH, M. B, ARANYOSI, A. J, COTTRELL, J. D, DAVIS, C. Q, GORDON, M. J, JOHNSON, L. K, KARU, Z. Z, MERMELSTEIN, M. S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Computer aided design Computer science control theory systems Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Software
Online-Zugang:	Volltext
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