Optical emission spectroscopy as the monitoring tool in ECR-MBE growth of GaN

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	CHIBA, Y, SHIMIZU, Y, TOMINARI, T, HOKUTO, S, NANISHI, Y
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Molecular, atomic, ion, and chemical beam epitaxy Physics
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