Defect structure in Zn+ implanted Si: HRXRD study

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physica status solidi. A, Applications and materials science Applications and materials science, 2011, Vol.208 (3), p.653-657
Hauptverfasser:	SHCHERBACHEV, Kirill, PRIVEZENTSEV, Vladimir, SARAYKIN, Vladimir, PODGORNYY, Dmitry
Format:	Artikel
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	1862-6300 1862-6319