Reactive unbalanced magnetron sputtering of AlN thin films

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BUC, D, HOTOVY, I, HASCIK, S, CERVEN, I
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Deposition by sputtering Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
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