Flexible 3D deep microstructures of silica glass by laser-induced backside wet etching: Laser Processing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 2010, Vol.101 (2), p.319-323
Hauptverfasser:	SATO, Tadatake, KUROSAKI, Ryozo, NARAZAKI, Aiko, KAWAGUCHI, Yoshizo, NIINO, Hiroyuki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Physics Surface treatments
Online-Zugang:	Volltext
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