Ablation of silicon suboxide thin layers: Lasers in Nanoscience, Analysis and Applications

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 2010, Vol.101 (3), p.533-538
Hauptverfasser:	JAHN, M, RICHTER, J, WEICHENHAIN-SCHRIEVER, R, MEINERTZ, J, IHLEMANN, J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Physics Surface treatments
Online-Zugang:	Volltext
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