Electric double layer effect in a nano-scale Si02 sacrificial layer etching process and its application in nanowire fabrication

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 2010, Vol.20 (10)
Hauptverfasser:	YIBIN GONG, PENGFEI DAI, ANRAN GAO, TIE LI, PING ZHOU, YUELIN WANG
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Methods of nanofabrication Nanoscale materials and structures: fabrication and characterization Physics
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