Cost-effective laser interference lithography using a 405 nm AIInGaN semiconductor laser

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 2010, Vol.20 (5)
Hauptverfasser:	BYUN, Ikjoo, KIM, Joonwon
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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