Effect of amorphous C films deposited by RF magnetron sputtering on smoothing K9 glass substrate

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied surface science 2010, Vol.256 (5), p.1492-1495
Hauptverfasser: SONGWEN DENG, HONGJI QI, CHAOYANG WEI, KUI YI, ZHENGXIU FAN, JIANDA SHAO
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0169-4332
1873-5584