Ultrananocrystalline and Nanocrystalline Diamond Thin Films for MEMS/NEMS Applications : Beyond silicon: Carbon-based nanotechnology

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	MRS bulletin 2010, Vol.35 (4), p.281-288
Hauptverfasser:	SUMANT, Anirudha V, AUCIELLO, Orlando, CARPICK, Robert W, SRINIVASAN, Sudarsan, BUTLER, James E
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Mechanical instruments, equipment and techniques Micromechanical devices and systems Physics
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