Conduction mechanism of leakage current due to the traps in Zr02 thin film

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Semiconductor science and technology 2009, Vol.24 (11)
Hauptverfasser:	YOHAN SEO, LEE, Sangyouk, AN, Ilsin, SONG, Chulgi, JEONG, Heejun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Electrical properties of specific thin films Electronic structure and electrical properties of surfaces, interfaces, thin films and low-dimensional structures Exact sciences and technology Ii-vi semiconductors Physics
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