Etching of MgB2 Thin Films for Transition Edge Superconducting Bolometer Fabrication

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on applied superconductivity 2009-06, Vol.19 (3), p.257-260
Hauptverfasser:	ASLAM, Shahid, STEVENSON, Thomas R, HSIEH, Wen-Ting, TRAVERS, Douglas E, JONES, Hollis H, LAKEW, Brook
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electrical engineering. Electrical power engineering Electromagnets Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Superconducting devices Various equipment and components
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