Germanium In Situ Doped Epitaxial Growth on Si for High-Performance n+/p-Junction Diode
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Veröffentlicht in: | IEEE electron device letters 2009-09, Vol.30 (9), p.1002-1004 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0741-3106 1558-0563 |
DOI: | 10.1109/LED.2009.2027823 |