Observations of extreme ultraviolet emission from plasma produced by capillary discharges: Carbon-free SiOx films deposited from octamethylcyclotetrasiloxane

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	The European physical journal. D, Atomic, molecular, and optical physics Atomic, molecular, and optical physics, 2009, Vol.54 (2), p.377-382
Hauptverfasser:	NOWAKOWSKA-LANGIER, K, JAKUBOWSKI, L, BARONOVA, E. O, CZAUS, K, RABINSKI, M, JAKUBOWSKI, M. J
Format:	Artikel
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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