AFM and contact angle investigation of growth and structure of pp-HMDSO thin films: Carbon-free SiOx films deposited from octamethylcyclotetrasiloxane
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Veröffentlicht in: | The European physical journal. D, Atomic, molecular, and optical physics Atomic, molecular, and optical physics, 2009, Vol.54 (2), p.165-172 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1434-6060 1434-6079 |