Variation of electrical conduction phenomena of Pt/(Ba, Sr)TiO3/Pt capacitors by different top electrode formation processes

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese journal of applied physics 1997, Vol.36 (9B), p.5860-5865
Hauptverfasser:	LEE, K. H, HWANG, C. S, LEE, B. T, KIM, W. D, HORII, H, KANG, C. S, CHO, H.-J, LEE, S. I, LEE, M. Y
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Design. Technologies. Operation analysis. Testing Electronics Exact sciences and technology Integrated circuits Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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