Plasma Sprayed Coatings of High-Purity Ceramics for Semiconductor and Flat-Panel-Display Production Equipment: Selected and Expanded Papers from the 2008 International Thermal Spray Conference

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of thermal spray technology 2008, Vol.17 (5-6), p.878-886
Hauptverfasser:	KITAMURA, Junya, IBE, Hiroyuki, YUASA, Fumi, MIZUNO, Hiroaki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Mechanical properties and methods of testing. Rheology. Fracture mechanics. Tribology Metals. Metallurgy Production techniques Surface treatment
Online-Zugang:	Volltext
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