Dual-beam actuation of piezoelectric AIN RF MEMS switches monolithically integrated with AIN contour-mode resonators

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 2008, Vol.18 (10)
Hauptverfasser:	MAHAMEED, Rashed, SINHA, Nipun, PISANI, Marcelo B, PIAZZA, Gianluca
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Circuit properties Electric, optical and optoelectronic circuits Electronics Exact sciences and technology Microwave circuits, microwave integrated circuits, microwave transmission lines, submillimeter wave circuits
Online-Zugang:	Volltext
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