Characteristics and reliability of a polysilicon thin-film transistor with a multi-trenched body

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor science and technology 2008-10, Vol.23 (10), p.105010
Hauptverfasser:	Huang, Kuo-Dong, Lin, Jyi-Tsong, Jheng, Bao-Tang
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Transistors
Online-Zugang:	Volltext
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