Formation and Expansion Phases of an Atmospheric Pressure Glow Discharge in a PECVD Reactor via Fast ICCD Imaging: Images in Plasma Science

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on plasma science 2008, Vol.36 (4), p.968-969
Hauptverfasser:	STAROSTIN, Sergey A, ELSABBAGH, Mansour A. M, ALDEA, Eugen, DE VRIES, Hindrik, CREATORE, Mariadriana, VAN DE SANDEN, M. C. M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electric discharges Exact sciences and technology Glow corona Other gas discharges Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma applications Plasma-based ion implantation and deposition
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