Accurate Litho Model Tuning Using Design-Based Defect Binning : Advanced semiconductor manufacturing conference

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on semiconductor manufacturing 2008, Vol.21 (3), p.316-321
Hauptverfasser:	VASEK, Jim, SVIDENKO, Vicky, NEHMADI, Youval, SHIMSHI, Rinat
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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