Parameter Optimization of a Tribometric Device for Rapid Assessment of Substrate Surface Cleanliness

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Optical memory & neural networks 2008, Vol.17 (2), p.167-172
Hauptverfasser:	KAZANSKIY, N. L, KOLPAKOV, V. A, KOLPAKOV, A. I, KRICHEVSKY, S. V, IVLIEV, N. A, DESJATOV, M. V
Format:	Artikel
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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