Analysis of a one-dimensional, steady-state magnetron discharge

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Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 1997-09, Vol.30 (18), p.2573-2584
1. Verfasser:	Cramer, N F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Deposition by sputtering Electric discharges Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Other gas discharges Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges
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