A compact three-electrode discharge system for long-pulse KrCl excimer lasers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2008-02, Vol.17 (1), p.015009
Hauptverfasser:	Casper, L C, Bastiaens, H M J, Peters, P J M, Boller, K-J, Hofstra, R M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electric discharges Exact sciences and technology Other gas discharges Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges
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