High-Performance Poly-Si TFTs With Pr2O3 Gate Dielectric

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE electron device letters 2008, Vol.29 (1), p.96-98
Hauptverfasser: CHANG, Chia-Wen, DENG, Chih-Kang, HUANG, Jiun-Jia, CHANG, Hong-Ren, LEI, Tan-Fu
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0741-3106
1558-0563
DOI:10.1109/LED.2007.911614