Passivation of hybrid-orientation direct silicon bonded interfaces

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WAGENER, Magnus C, SEACRIST, Mike, ROZGONYI, George A
Format: Tagungsbericht
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0921-4526
1873-2135