Emission spectra of KrF in the chemical reaction of KrF2 with SiH4

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Optical Society of America. B, Optical physics Optical physics, 1991-03, Vol.8 (3), p.548-552
Hauptverfasser: YANG, T. T, BOWER, R. D, BLAUER, J. A
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0740-3224
1520-8540
DOI:10.1364/JOSAB.8.000548