Flash Lamp Annealing of Phosphorus-Implanted Silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physica status solidi. A, Applied research Applied research, 1989-08, Vol.114 (2), p.K131-K134
Hauptverfasser:	Budinov, H., Stavrov, V., Burkova, R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Defects and impurities in crystals microstructure Doping and impurity implantation in iii-v and ii-vi semiconductors Exact sciences and technology Physics Structure of solids and liquids crystallography
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