Isotopic studies of oxidation of Si3N4 and Si using SIMS

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1990-02, Vol.137 (2), p.741-742
Hauptverfasser:	HONGHUA DU, HOUSER, C. A, TRESSLER, R. E, SPEAR, K. E, PANTANO, C. G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemistry Exact sciences and technology Inorganic chemistry and origins of life Kinetics and mechanism of reactions
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!