Characterization of rf-sputtered InN films and AIN/InN bilayers on (0001)sapphire by the x-ray precession method

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 1990-08, Vol.68 (4), p.1541-1544
Hauptverfasser:	KISTENMACHER, T. J, BRYDEN, W. A, POEHLER, T. O
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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