Time resolved study of the bulk plasma of a 13.6 MHz discharge in argon

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 1991-03, Vol.24 (3), p.252-260
Hauptverfasser:	Kohler, W E, Seebock, R J, Rebentrost, F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma devices
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!