TwinmagII : attempts to improve an excellent sputter tool

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	HEISTER, U, KREMPEL-HESSE, J, SZCZYRBOWSKI, J, TESCHNER, G, BRUCH, J, BRÄUER, G
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Deposition by sputtering Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
Online-Zugang:	Volltext
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