Selective tungsten CVD in a hot walled reactor by silane reduction of WF6

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1989-09, Vol.136 (9), p.2765-2766
Hauptverfasser:	GORCZYCA, T. B, DOUGLAS, L. R, GOROWITZ, B, WILSON, R. H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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