Design and measurement considerations of hairpin resonator probes for determining electron number density in collisional plasmas

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2007-11, Vol.16 (4), p.716-725
Hauptverfasser:	Sands, Brian L, Siefert, Nicholas S, Ganguly, Biswa N
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electric discharges Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma diagnostic techniques and instrumentation
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