The use of simulation in semiconductor technology develoopment: Material and process characterizeation for semiconductor device simulation

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Solid-state electronics 1990, Vol.33 (6), p.591-623
Hauptverfasser:	COLE, D. C, BUTURLA, E. M, LINTON, T. D, JOHNSON, J. B, FISCHETTI, M. V, LAUX, S. E, COTTRELL, P. E, LUSTING, H. G, PILEGGI, F, KATCOFF, D, FURKAY, S. S, WARAHRAMYAN, K, SLINKMAN, J, MANDELMAN, J. A, FOTY, D. P, OBULA, O, STRONG, A. W, PARK, J. W
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Integrated circuits Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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