Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges: Modeling and simulation of collisional low-temperature plasmas

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on plasma science 2007, Vol.35 (5), p.1229-1240
Hauptverfasser:	RAKHIMOVA, Tatyana V, BRAGINSKY, Oleg V, VOLOSHIN, Dmitry G, IVANOV, Vladimir V, KOVALEV, Alexander S, LOPAEV, Dmitry V, MANKELEVICH, Yuri A, OLEVANOV, Michael A, PROSHINA, Olga V, RAKHIMOV, Alexander T, VASILIEVA, Anna N
Format:	Artikel
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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