Design and modeling of a high-speed AFM-scanner : Dynamics and control of micro- and nanoscale systems

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on control systems technology 2007, Vol.15 (5), p.906-915
Hauptverfasser:	SCHITTER, Georg, ASTRÖM, Karl J, DEMARTINI, Barry E, THUMER, Philipp J, TURNER, Kimberly L, HANSMA, Paul K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Computer science control theory systems Control theory. Systems Exact sciences and technology Mechanical engineering. Machine design Modelling and identification Precision engineering, watch making
Online-Zugang:	Volltext
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