Approach to control deposition of ultra thin films from metal organic precursors : Ru deposition

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	IGUMENOV, Igor K, SEMYANNIKOV, Pyotr P, TRUBIN, Sergei V, MOROZOVA, Natalia B, GELFOND, Nikolay V, MISCHENKO, Alexander V, NORMAN, John A
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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